WikiDer > Харви К. Натансон - Википедия

Harvey C. Nathanson - Wikipedia
Рисунок первого устройства MEMS из патента США 3413573
Первый МЭМС устройство.

Харви С. Натансон (22 октября 1936 г. - 22 ноября 2019 г.) был американцем инженер-электрик кто изобрел первый МЭМС (микро-электромеханические системы) устройства того типа, которые сейчас можно найти в различных продуктах, от iPhone до автомобилей.

МЭМС-устройства, изготовленные с использованием Интегральная схема Технологии изготовления состоят из небольших движущихся механических элементов, размер которых обычно составляет от 1 до 100 микрометров (от 0,001 до 0,1 мм). Типичные устройства MEMS включают акселерометры нашел в смартфоны и контроллеры видеоигр, а гироскопы используется в автомобилях и носимые.

Натансон задумал первое устройство MEMS в 1965 году, которое использовалось в качестве тюнера для микроэлектронных радиоприемников.[1] Он был разработан с Робертом А. Викстромом и Уильямом Э. Ньюэллом в Westinghouse Исследовательские лаборатории в Питтсбурге, штат Пенсильвания, и запатентован как микроэлектрический частотно-селективный прибор.[2]

Усовершенствованная версия устройства была впоследствии запатентована как транзистор с резонансным затвором.[3]

В своей работе по разработке подобных устройств Натансон впервые применил метод серийного производства, при котором слои изоляторов и металла на кремниевых пластинах формируются и подрезаются с помощью масок и расходных слоев, процесс, который позже станет основой производства МЭМС.[4]

В 1973 году он запатентовал использование миллионов микроскопически маленьких движущихся зеркал для создания видеодисплея того типа, который сейчас используется в цифровых проекторах.[5]

В 2000 году Натансон был награжден Медалью тысячелетия Институтом инженеров по электротехнике и электронике за «выдающийся вклад в развитие общества и в области электронных устройств».[6]

Выпускник Университет Карнеги Меллон, он имеет более 50 патентов в области твердотельной электроники.[7]

Рекомендации

  1. ^ "Кремниевый поверхностный транзистор с резонансным затвором и высокой добротностью полосы пропускания". Письма по прикладной физике. 15 августа 1965 г.. Получено 25 декабря 2010.
  2. ^ Патент США 3413573, Натансон и др., "Микроэлектронный частотно-селективный аппарат с вибрирующим элементом и средства, реагирующие на него", выпущенный 26 ноября 1968 г. 
  3. ^ Патент США 3590343, Натансон и др., "Резонансный транзистор затвора с фиксированным положением, электронно плавающим электродом затвора в дополнение к резонансному элементу", выпущенный 1971-6-29 
  4. ^ «Микроэлектромеханические системы (МЭМС)». ProQuest. Октябрь 2001 г.. Получено 25 декабря 2010.
  5. ^ Патент США 3746911, Натансон и др., "Электростатически отклоняемые световые клапаны для проекционных дисплеев", выпущенный 1973-7-17 
  6. ^ «Победители медалей тысячелетия IEEE EDS». Общество электронных устройств IEEE. 5 августа 2010. Архивировано с оригинал 13 сентября 2015 г.. Получено 25 декабря 2010.
  7. ^ «Патенты Харви К. Натансона». Патенты Google. Получено 14 августа 2020.