WikiDer > Дисилицид вольфрама - Википедия
| Имена | |
|---|---|
| Название ИЮПАК Дисилицид вольфрама | |
| Идентификаторы | |
3D модель (JSmol) | |
| ECHA InfoCard | 100.031.723  |
PubChem CID | |
| |
| |
| Характеристики | |
| WSi2 | |
| Молярная масса | 240,011 г / моль |
| Внешность | серо-голубой четырехугольный кристаллы |
| Плотность | 9,3 г / см3 |
| Температура плавления | 2160 ° С (3920 ° F, 2430 К) |
| нерастворимый | |
| Опасности | |
| NFPA 704 (огненный алмаз) | |
| точка возгорания | Негорючий |
| Родственные соединения | |
Другой анионы | Карбид вольфрама Нитрид вольфрама |
Другой катионы | Дисилицид молибдена |
Если не указано иное, данные для материалов приведены в их стандартное состояние (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). | |
 проверять (что   ?) | |
| Ссылки на инфобоксы | |
Силицид вольфрама (WSi2) представляет собой неорганическое соединение, силицид из вольфрам. Это электропроводящий керамика материал.
Химия
Силицид вольфрама может бурно реагировать с такими веществами, как сильные кислоты, фтор, окислители, и интергалогены.
Приложения
Он используется в микроэлектроника как контактный материал, с удельное сопротивление 60–80 мкОм см; он образуется при 1000 ° C. Часто используется как шунт над поликремний линии для увеличения их проводимости и увеличения скорости сигнала. Слои силицида вольфрама могут быть получены химическое осаждение из паровой фазы, например с помощью моносилан или же дихлорсилан с гексафторид вольфрама в качестве исходных газов. Осажденная пленка не-стехиометрический, и требует отжиг преобразовать в более проводящую стехиометрическую форму. Силицид вольфрама является заменой более ранних пленок вольфрама.[2] Силицид вольфрама также используется в качестве барьерный слой между кремнием и другими металлами, например вольфрам.
Силицид вольфрама также представляет ценность для использования в микроэлектромеханические системы, где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем микромасштабов. Для этих целей пленки силицида вольфрама могут быть плазменный используя, например, трифторид азота газ.
WSi2 хорошо работает в приложениях, как окисление-стойкие покрытия. В частности, по аналогии с Дисилицид молибдена, MoSi2, высота излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высоких температур радиационное охлаждение, с последствиями в тепловые экраны.[3]
Рекомендации
 | Эта статья нужны дополнительные цитаты для проверка. (Май 2009 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения) |
- ^ Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87-е изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2
- ^ «Архивная копия». Архивировано из оригинал на 2001-09-07. Получено 2007-08-19.CS1 maint: заархивированная копия как заголовок (связь)
- ^ Покрытия с высоким коэффициентом излучения на волокнистой керамике для многоразовых космических систем Наука о коррозии 2019