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ASM International
ASM International
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StipendiumEuronext: ASM
Einrichtung1964
SchlüsselfigurenArthur H. del Prado (Gründer), Chuck del Prado (CEO, 2008-2020), Benjamin Loh (CEO, ab 18. Mai 2020), Peter van Bommel (Finanzvorstand)
LandFlagge der Niederlande Die Niederlande
HauptquartierAlmere
Angestellte2.583, davon 146 in den Niederlanden (31. Dezember 2020)[1]
TochtergesellschaftASM Pacific Holding
ProdukteProduktionsmaschinen für die Halbleiterindustrie
Einnahmen/Jahr1328 Mio. € (2020)[1]
profitieren/Jahr285 Mio. € (2020)[1]
WebseiteASMI
Portal  Portalsymbol  Wirtschaft

ASM International, notiert an der Amsterdamer Börse als ASMI, ist ein Niederländisch multinationaler Anbieter von Produktionsmaschinen für die Halbleiterindustrie. ASM ist spezialisiert auf Design, Produktion, Verkauf und Wartung von Wafer Bearbeitungsmaschinen in der Halbleiterfertigung, wie Kartoffelchips. Diese Maschinen werden von Halbleiterherstellern in ihren Fabriken eingesetzt, die auch als „Wafer-Fabs“ bekannt sind. Technologien, die ASM anbietet, sind Atomlagenabscheidung (ALD auf Wikipedia), Epitaxie, chemische Gasphasenabscheidung (chemische Gasphasenabscheidung, CVD) und Diffusion.

ASM gilt als Begründer der europäischen Chipmaschinenindustrie. Das Unternehmen ist dabei 1964 durch Arthur del Prado (1931-2016) gegründet als 'Advanced Semiconductor Materials'.[2] Von 2008 bis 2020 war Chuck del Prado, Sohn von Arthur del Prado, CEO. ASM führte mehrere bahnbrechende Fertigungstechniken zur Wafer-Verarbeitung ein, daruntertechnieken Lithographie, die Position, Ionenimplantation, Epitaxie und in den letzten Jahren Atomlagenabscheidung. Führende Anbieter von Halbleiterfertigungsmaschinen ASML, ASM Pacific Technology und BESI stammen von ASM.

Der Hauptsitz von ASM International befindet sich in Almere. Das Unternehmen hat F&E Einrichtungen in Almere, Helsinki, Löwen (in der Nähe von IMEC), Phoenix, Arizona), tama (Japan) und Dongtan (Südkorea). Die Produktion erfolgt hauptsächlich in Singapur und Dongtan (Südkorea). Darüber hinaus verfügt ASM weltweit über mehrere Vertriebs- und Supportbüros, darunter in den USA, Südkorea, China, Taiwan, Japan, Singapur und Israel. Ende 2020 beschäftigte das Unternehmen 2.583 Mitarbeiter in 14 Ländern.[1]

Die Aktien des Unternehmens sind an der Euronext Amsterdam notiert. Seit März 2020 ist ASM Teil der AEX-Index. ASM International hält eine Minderheitsbeteiligung an ASM Pacific Technology, einem Unternehmen mit Sitz in Hongkong und tätig in den Bereichen Montage, Verpackung und bearbeitenTechniken.

Technologie

Bei der Herstellung von a Halbleiterchip zu verschiedenen Typen werden WaferVerarbeitungsgeräte verwendet. Die Produktion beinhaltet das Aufbringen feinmaschiger Muster auf einen Wafer mit Fotolithografie, die Erzeugung ultradünner Schichten auf dem Wafer mit die Position, es Radierung aus Material, Thermal- Behandlungen und andere Schritte. Die Maschinen von ASM sind für die Abscheidung dünner Materialschichten auf a Silizium Wafer. Der Chipherstellungsprozess umfasst Hunderte von Verarbeitungsschritten, von denen viele Abscheidungsschritte unter Verwendung vieler verschiedener Materialien sind.

Das Ziel der Chiphersteller – den Kunden von ASM – schnellere, günstigere, leistungsfähigere und energieeffizientere Chips zu entwickeln, bestimmt die Technologieentwicklung beim Maschinenbauer. Um dieses Ziel zu erreichen, müssen die Abmessungen der Schalter (Transistoren) und Datenspeicherelemente (Erinnerung) wurde immer kleiner. Ziel ist es, alle zwei Jahre die Anzahl der Bauteile auf einem Chip zu verdoppeln (siehe Moores Gesetz). Um diesen Fortschritt zu realisieren, stellt ASM seinen Kunden Abscheidungsanlagen und -verfahren zur Verfügung, die nicht nur immer dünnere Schichten von atomar Präzision, aber auch neue Materialien, die die Späne wieder besser machen.

In den letzten 15 Jahren wurden dem Chipherstellungsprozess immer neue Materialien hinzugefügt. Diese neuen Materialien sind notwendig, um die gewünschten Leistungssteigerungen (gemäß der Moores Gesetz) erreichen. Ein Beispiel betrifft die Ersetzung von a SiliziumoxidSchicht im Transistor, von denen heute Milliarden in einen Chip integriert sind. Da das Siliziumoxid mit immer kleiner werdenden Transistoren dünner wurde, konnte das Material die Anforderungen an eine gute Leistung nicht mehr erfüllen. elektrische Isolierung. Das neue Material, das diese Anforderung erneut erfüllen könnte, besteht aus Hafnium (ein Metall) und Sauerstoff. Dafür Hafniumoxid Nach fast einem Jahrzehnt der Entwicklung hat ASM nicht nur ein neues chemischer Prozess, sondern brachte auch Atomic Layer Deposition (auf englischsprachiger Wikipedia) oder ALD zur industriellen Reife. Durch die Transformation von Transistoren von planaren zu dreidimensionalen Strukturen (FinFET, auf Wikipedias) haben in den letzten zehn Jahren neben neuen Materialien auch anspruchsvollere Abscheidungsverfahren wie ALD an Bedeutung in der Chipherstellung gewonnen. ASM ist Marktführer bei Single-Wafer-ALD.

Forschung

ASM liefert verschiedene Verfahren und Maschinen zum Aufbringen dünner Schichten auf einen Siliziumwafer. Das Unternehmen versucht ständig, die Anwendbarkeit dieser Techniken zu erhöhen. Forschung ist in diesem Zusammenhang von größter Bedeutung. Im Jahr 2020 investierte das Unternehmen 139 Millionen Euro in F&Eetwa 10 % des Jahresumsatzes. Diese Forschung erstreckt sich von grundlegende Forschung neue Materialien zur Anwendung dieser Materialien in der Chipherstellung.

Produkte

ASM entwickelt und vertreibt zwei Arten von Abscheidungsmaschinen. Dies betrifft Maschinen, die eine Schicht auf eine auftragen Wafer gleichzeitig (Single-Wafer) und Maschinen, die diesen Prozess auf mehreren Wafern durchführen (Multi-Wafer oder Stapel) gleichzeitig. Die Preise beider Maschinentypen variieren, liegen aber in der Regel bei mehreren Millionen Euro pro Anlage. Die Produkte von ASM können nach Abscheidungsverfahren gruppiert werden:

ALD (Atomic Layer Deposition, auf Englisch Wikipedia) ist ein Prozess, bei dem ein Material auf extrem kontrollierte Weise Atomschicht für Atomschicht abgeschieden wird. Das Aufbringen der Schichten erfolgt in einem Reaktionszyklus, bestehend aus der sukzessiven Einbringung von a Vorläufer, ein untätig Spülgas, ein Reaktant und ein letztes inertes Spülgas.[3] ASM liefert Single-Wafer-ALD-Maschinen für Thermal- und Plasma ALD (PEALD)-Prozesse. Die betroffenen Maschinen heißen Synergis, Pulsar XP und EmerALD XP. Für PEALD sind dies Eagle XP8 und XP8 QCM.

Epitaxie (Epitaxie) ist ein Prozess, bei dem Silizium und silikonbasierte Materialien in ihrer reinen Kristallstruktur auf einen Wafer aufgebracht werden, wiederum mit atomarer Präzision. Mit dem Silizium-Epitaxie-Verfahren können die elektrischen Eigenschaften der Siliziumoberfläche getestet werden Veränderung als Teil der Herstellung von Transistoren während der Halbleiterchipherstellung. ASM verfügt über die Einzelwafer-Epitaxiemaschinen Intrepid und Epsilon.

CVD (Chemische Gasphasenabscheidung) ist ein die PositionVerfahren, bei dem Materialien aus ihren chemischen Bestandteilen in der Gasphase wo Temperatur, Gaskonzentration und Druck sorgfältig kontrolliert werden. ASM vertreibt zwei Arten von CVD-Maschinen:

PECVD (Plasmaverstärkte CVD) ist ein Abscheidungsprozess, bei dem die Waferoberfläche unterschiedlichen flüchtigVorläufer ist entblößt. Diese Vorläufer reagieren und/oder zersetzen sich auf der Oberfläche des Wafers unter Verwendung der Energie, die von a by zugeführt wird Plasma in der Reaktionskammer, wodurch eine neue Schicht auf dem Wafer entsteht. ASM liefert Plasma-Enhanced CVD (PECVD)-Prozesse mit Einzelwafer auf der Dragon XP8-Maschine.

LPCVD (Niederdruck-CVD) ist ein niedriges DruckCVD Prozess, der nach dem gleichen Prinzip wie der obige PECVD-Prozess funktioniert, aber bei LPCVD wird die Energie zum Starten und Halten des chemischen Prozesses auf der Waferoberfläche von . geliefert Wärme in vertikalen Öfen erzeugt. ASM bietet diese LPCVD-Prozesse auf den Vertikalöfen A400 DUO und A412 an. Dies sind Systeme der Multi-Wafer Art.

Geschichte

Die 60er: Im 1964 Direkte Arthur del Prado im Bilthoven ASM als 'Advanced Semiconductor Materials'.[4] Anfangs ist die Eigentum als Handelsbüro für Halbleiterfertigungstechniken. Im April 1968 wurde das Unternehmen offiziell als BV.

Die 70er: ASM beginnt mit der Entwicklung, Produktion und dem Vertrieb eigener CVD-Maschinen. Im 1974 wird Fico-Werkzeuge übernommen, ein Hersteller von Halbleiterchips mit Sitz in rewen. Ein Jahr später, in Hongkong eröffnete ein Verkaufsbüro für die Fico-Produkte namens ASM Asia und jetzt bekannt als ASM Pacific Technology. ASM Amerika ist dabei Phoenix, Arizona) im 1976 etabliert. Verkauf von horizontalen PECVD Öfen treibt das Wachstum des Unternehmens an.

Die 80er: ASM ist in 1981 das erste niederländische Unternehmen überhaupt mit einer direkten Notierung an der NASDAQ. Nach diesem Börsengang expandierte das Unternehmen schnell. Im 1982 ASM Japan wird gegründet, die erste hundertprozentige niederländische Tochtergesellschaft in diesem Land. Darüber hinaus investiert ASM in Techniken wie LithographieIonenimplantation, Epitaxie und Drahtbonden.[5] Im 1988 das Unternehmen verzichtet (seinen Anteil von 50% an) ASML, ASM Ion Implant und bringt ein Jahr später auch seine Niederlassungen in Hongkong als ASM Pacific Technology in die Börse in Hongkong.

Die 90er: Das Unternehmen reorganisiert sich gründlich zwischen 1991 und 1994.[6] ASM verkauft ASM Fico 1993 an die Berliner Elektro Holding, heute bekannt als BESI. ASM konzentriert sich auf die vertikalen Niederdruck-CVD-Öfen von ASM Europe, die Einzelwafer-Epitaxie von ASM America und die Einzelwafer-PECVD-Reaktoren von ASM Japan. Das Unternehmen wird eine Mehrheitsbeteiligung an ASM Pacific Technology behalten. Seit 1996 ist ASM auch auf der Amsterdamer Börse notiert.

Die 00er: ASM expandiert weiter mit Investitionen in die Atomlagenabscheidung und Produktentwicklung für einen neuen 300-mm-Wafer-Standard.[7] Im 2007 dem Unternehmen gelingt es, die Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid für die Serienfertigung eingeführt werden. Streit gleichzeitig Hedgefonds die Nützlichkeit der (Mehrheits-)Beteiligung an ASM Pacific Technology.[8] Im 2008 Arthur de Prado wird von seinem Sohn Chuck del Prado abgelöst.[9] Ein Jahr später zieht der Hauptsitz von Bilthoven nach Almere.

Die 10er: Nach einem weitreichenden globalen Reformprogramm kehrt ASM zur strukturellen Profitabilität zurück. Dieses Programm umfasst den Aufbau einer produktorientierten Organisation, einer einzigen globalen Vertriebsorganisation, die Zentralisierung der Produktion in Singapur und die Einrichtung zentraler Abteilungen für Personal, Finanzen, ES, operative Exzellenz und „Arbeitsbedingungen und Umgebung’. PEALD, das hilft, immer kleinere Muster auf dem Wafer abzubilden, und ALD, für neue Transistoren auf Hafniumoxid-Basis, führen das bedeutende Wachstum des Unternehmens an. [3] Der Anteil an ASM Pacific Technology wird auf 25 Prozent reduziert.[10] Im 2020 wird das Unternehmen in der AEXIndex enthalten. Im selben Jahr beschließt Chuck del Prado, nach 12 Jahren als CEO zurückzutreten.[11] Sein Nachfolger wird Benjamin Loh.[12]

Ergebnisse

Einnahmen

ASM verkauft seine Maschinen an Halbleiterhersteller weltweit, wobei der Großteil seines Umsatzes mit asiatischen Kunden erzielt wird. Im Jahr 2020 wurden 1,05 Milliarden der insgesamt 1,328 Milliarden Euro durch den Verkauf von Maschinen erwirtschaftet.[1] Der Rest stammte aus der Wartung und dem Verkauf von Ersatzteilen.

Jahr[13]EinnahmenNettoergebnis
2013452 Millionen €106 Mio. €
2014Erhöht 546 Millionen €Erhöht 141 Millionen €
2015Erhöht 670 Mio. €Erhöht 157 Millionen €
2016Verringert 598 Millionen € €Verringert 135 Millionen €
2017Erhöht 737 Millionen € €Erhöht 453 Millionen €[14]
2018Erhöht 818 Millionen €Verringert 157 Millionen €
2019Erhöht 1283,9 Mio. €[15]Erhöht 329,0 Mio. €
2020Erhöht 1328,1 Mio. €Verringert 285,4 Mio. €

Marktwert

ASM-Aktien werden seit 1996 an der Amsterdamer Euronext-Börse gehandelt. Seit März 2020 ist ASM auch Teil des AEX-Index. Aufgrund der Reduzierung des Anteils auf 25 % im Jahr 2013 sind die Ergebnisse der ASM Pacific Technology (außer auf der Ebene des Nettogewinns) nicht mehr Bestandteil der dargestellten Zahlen von ASM. Zwischen 1981 und 2015 war ASM auch an der NASDAQ notiert.

Im Jahr 2018 lag der Aktienkurs bei durchschnittlich 48,62 Euro und der durchschnittliche Marktwert bei 2,53 Milliarden Euro. Im Jahr 2019 lag der durchschnittliche Schlusskurs bei 68,98 €, was einem durchschnittlichen Marktwert von 3,38 Milliarden € entspricht. Im Jahr 2020 lag der durchschnittliche Aktienkurs bei 126,80 € bei einem durchschnittlichen Marktwert von 6,31 Milliarden €. Im ersten Quartal 2021 lag der durchschnittliche Aktienkurs bei 219,60 Euro bei einem durchschnittlichen Marktwert von 10,9 Milliarden Euro.

Wissenswertes

Es gibt eine gleichnamige Organisation ASM International, wobei die Abkürzung ASM ursprünglich für American Society for Metals stand. Abgesehen vom Namen hat diese Materialwissenschaftsorganisation keine Verbindung zum Hersteller von Halbleitermaschinen.

Externe Links